Эксимерные системы

Эксимерная система EXC

Эксимерная система GEW EXC создает вакуумное ультрафиолетовое излучение для различных задач. Система легко интегрируется на оборудовании шириной до 2,3 м.

Лампы EXC

В ламповых системах GEW EXC используется диэлектрический барьерный разряд (ДБР) для производства квазимонохроматического вакуумного излучения, как правило 172 нм. Такого рода излучение обычно используется для матирования поверхностного покрытия, изменения поверхностного натяжения для улучшения прилипаемости, либо для чистки поверхностей в полупроводниковой и медицинской отрасли.

Эксимерные лампы GEW EXC имеют размер от 12 до 230 см. Их легко интегрировать по условиям заказчика для особых задач, включая системы управления и использование в среде инертного газа с азотом. Они также просто интегрируются в более крупные УФ-системы GEW, используемые для желатинирования или вторичного отверждения. Таким образом, компания GEW способна предложить готовое решение сушки/чистки для вашего технологического процесса. Наш штат опытных инженеров обеспечит строгое исполнение требований международных стандартов производственной безопасности.

Эксимерные системы


Преимущества EXC

  • Матирование –
    • Мгновенное включение/выключение матирования
    • Лакокрасочное покрытие без добавок. Увеличивает стойкость и упрощает обработку
    • Уровень глянца >2 G.U.
    • Полностью интегрировано в технологию предварительного желирования и окончательного УФ-отверждения
  • Чистка –
    • Высокоэффективная чистка на самых различных полупроводниковых подложках
    • Безконтактная
  • Исправление поверхности –
    • Значительный прирост поверхностной энергии
  • Холодная технология для термочувствительных материалов
  • Низкое потребление энергии, высокая эффективность генерирования УФ (до 40 %)

Галерея EXC


Технические характеристики EXC

Максимальная электрическая мощность5 Вт/см
Пиковая длина волны172 нм*
Излучение в определенной точке30 Вт / см²
Максимальная длина230 см
Стандартное сечение164 мм Ш x 130 мм В
ОхлаждениеN2 / воздух
Нормальная макс. рабочая температура40°C (104°F)
Нормальная макс. влажностьТочка росы отсутствует
*222 и 308 нм по запросу

Обращайтесь непосредственно к торговому представителю

David Lyus

Регион, Россия:
David Lyus
Руководитель отдела международных продаж

T: +44 (0) 7713 085 381

Адрес электронной почты Дэвида

Найдите ближайшего дистрибьютора:

Если конкретной страны в списке не нашлось, просим связаться с нашим головным офисом в Соединенном Королевстве. Мы окажем помощь.